型号：EM ACE600

一、主要参数

极限真空度：≤ 2×10⁻⁶ mbar

溅射时间：1-1800s

离子溅射电流：15-150mA

溅射用工作气体：氩气

工作距离：30mm - 100mm 

镀膜厚度：1-1000nm可调，检测精度0.1nm

方形金属样品仓，尺寸宽：200mm，深：150mm，高：195mm

样品台直径104mm，带24孔，可插入24个SEM标准样品台

全自动控制

二、特色功能

1. 金属镀膜：用于高分辨率SEM形貌观察

2. 蒸镀碳膜：用于不导电样品的EDS/WDS分析；萃取复型制备TEM样品；连续切片的镀膜导电化；载网支持膜镀碳膜

3. 辉光放电：用于清洁样品表面吸附气体；TEM载网和支持膜的亲水化

三、预约事项

1. 样本必须绝对干燥：任何残留水分都会破坏真空并污染腔

2. 严禁使用磁性样品：磁性材料可能损坏仪器，上机前务必用磁铁确认

3. 操作时务必佩戴无粉手套：避免皮肤油脂污染腔体和样品台

4. 装样时切勿遮盖石英晶体：膜厚监测核心部件被遮挡将导致镀膜厚度失控

5. 热敏感样品建议选用低功率碳丝程序：可减少蒸发过程中的热损伤

6. 多层镀膜前先执行脱气处理：有助于在高真空下获得纯净膜层

7. 根据电镜观察目标选择镀膜方式：常规SEM用溅射镀铂膜， TEM支持膜/EDS用碳蒸发

8. 数据与登记：实验结束后做好仪器使用登记

9. 实验过程中，禁止擅自修改实验室空调、软件参数

10. 仪器管理员有权拒绝不符合要求的样品，若送样者故意隐瞒，因样品不符合要求而造成仪器损坏，由送样者承担责任

11. 为了提高仪器设备使用效率，请根据预约时间按时到达科研支持中心刷卡上机。如需取消预约，在预约开始前两小时前登录系统，取消当次预约并联系管理员。在预约开始时间前一小时内取消预约或预约时间内未到，计爽约一次，扣分6分。如有特殊情况不能准时到达，请提前与设备管理员联系。